Essiccatore di isopropanolo VaporDry

per batchdi risciacquodi pulizia

RENA VaporDryer integra il processo di essiccazione IPA con la pulizia e il risciacquo per fornire un processo in un'unica fase. È una soluzione ideale per eliminare l'acqua da elementi ad alto rapporto d'aspetto e da vias passanti in silicio (TSV), nonché per asciugare efficacemente superfici complesse. VaporDry può essere integrato nelle piattaforme di immersione batch RENA. Questo essiccatore può essere utilizzato sia per applicazioni FEoL che BEoL. L'intero processo è monitorato e controllato dall'avanzato software di controllo di processo IDX Flexware di RENA. Caratteristiche e vantaggi Costo inferiore rispetto agli essiccatori Marangoni riduzione dell'85% del consumo di IPA rispetto agli essiccatori di vapori in subbuglio Prestazioni robuste, affidabili e comprovate sul campo Eccezionale prestazione delle particelle (750 µm di profondità) Ingombro ridotto