Massima risoluzione XPS: 500 nm / 100 nm (Lab / Synchroton)
Facile navigazione dei campioni grazie alla tecnologia PEEM
Spettroscopia spot di piccole dimensioni
Filtro di energia corretto dall'aberrazione
Sorgente a raggi X monocromatica ad alta potenza
ARUPS con la massima accettazione dell'angolo di inclinazione
Creato in collaborazione con FOCUS GmbH
Il NanoESCA offre una mappatura dello stato chimico con un'insuperabile risoluzione laterale XPS (<500 nm ottenuta in condizioni di laboratorio). Lo strumento consente di analizzare strutture campione più piccole, fornendo informazioni sullo stato chimico oltre i limiti di altre tecniche ad alta risoluzione laterale come la scansione di Auger e TOF SIMS
La navigazione del campione in tempo reale è assicurata dalla tecnica PEEM che opera in regime di elettroni secondari. La modalità PEEM permette di trovare facilmente piccole caratteristiche su un'ampia area di campionamento e fornisce un'alta risoluzione (risoluzione < 50 nm). Inoltre, la modalità PEEM fornisce informazioni quantitative sulla funzione di lavoro molto locale e sulla ricarica locale dei campioni.
Le capacità di spettroscopia del NanoESCA possono essere completate dall'opzione ARUPS che permette di analizzare lo spazio k dalle aree m, ad esempio piccoli grani in una superficie policristallina con la massima accettazione angolare.
Per il suo design rivoluzionario, NanoESCA ha ricevuto il premio R&D 100 2007.
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