Spettrometro di fotoelettroni NanoSAM Lab

di processoMCPAuger

Colonna Elettrone Gemelli UHV: massima risoluzione spaziale dimensioni più piccole dello spot del fascio elettronico prestazioni uniche a basso consumo energetico sEM efficiente con lente in-lente SED NanoSAM Electron Analyser risoluzione energetica variabile eccellente sensibilità, rilevamento multicanale Gestione dei campioni: dimensione flessibile del campione temperatura variabile del campione (50-500K) inclinazione del campione 60 Il NanoSAM Lab è lo strumento definitivo per l'analisi di piccole strutture. Guidato dalle prestazioni uniche della colonna elettronica UHV Gemini, garantisce una risoluzione senza pari al di sotto dei 5 nm nella microscopia ad Auger Scanning Auger Microscopy (SAM) e migliore di 3 nm nel SEM. A differenza di altri strumenti Auger, la risoluzione estremamente buona non è disponibile solo con energia standard del fascio di 20 keV, ma anche a 5 keV la risoluzione SAM rimane sotto i 10 nm. Ciò consente di operare in un intervallo di parametri in cui le sezioni trasversali della coclea sono alte e ben documentate per l'analisi quantitativa.