Specificazione
Gamma energetica
400 eV a 5 keV (10 eV opzionale)
Corrente massima del fascio di luce
> 10 μA @ 5 keV
> 100 nA @ 15 eV (opzione 10 eV)
Diametro del fascio
tra 300 μm e 2′′ @ 5 keV
Allineatore di porte integrato
Sì
Catodo
Ittrio rivestito di ossido di ittrio Tungsteno
(facoltativo) Filamento di iridio
Distanza di lavoro
30 mm - 300 mm
Profondità di inserimento
173 mm
Pressione della camera durante il funzionamento
5x10-7 mbar - 1x10-8mbar
Flangia di montaggio
CFR. 35 / 2¾′′′′ OD
Interfaccia elettronica
TCP/IP
Controllo software
Software basato su LabVIEW™ "ProIon"
L'FDG 15 utilizza la stessa collaudata generazione di raggi dell'FDG 150 e può essere utilizzato come sostituto per tutte le applicazioni in cui, ad esempio, in passato è stato utilizzato l'ISE 10 (Leybold/Kremer/OMICRON), ma non più disponibile.
Inoltre, l'FDG 15 è dotato di un'ottica ionica più flessibile per regolare le distanze di lavoro più lunghe e di una stabilizzazione del flusso ionico opzionale.
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