Stabilità comprovata a lungo termine. Prestazioni ultra-pure per applicazioni ad alta pressione.
i regolatori di portata massica sigillati in metallo della serie 5850EM misurano e controllano flussi di gas ad alta pressione in ambienti ultra-puliti, con una stabilità comprovata basata sulle prestazioni degli MFC della serie 5850E e i, ampiamente utilizzati. La struttura metallica sigillata e le superfici bagnate elettrolucidate garantiscono un'eccezionale integrità del flusso e contribuiscono a migliorare l'efficienza complessiva del processo, eliminando la necessità di monitorare e regolare continuamente le pressioni del gas per garantire un flusso stabile.
Caratteristiche
- Stabilità di zero a lungo termine di <0,2% di fondo scala all'anno
- Tempo di assestamento di <3 secondi alle variazioni di comando con overshoot/undershoot trascurabili
- Finitura interna di processo migliorata opzionale - 5µ pollici Ra avg
- Sensore di flusso rimovibile
- Insensibile all'assetto di montaggio
- Compatibile meccanicamente ed elettricamente con altri regolatori di portata massica
- Funzione di spegnimento e spurgo della valvola compatibile TTL
Vantaggi
Il percorso di flusso interamente in metallo migliora la purezza del gas e riduce le perdite
Stabilità e precisione comprovate a lungo termine in un'ampia gamma di processi e applicazioni
Eccellente ritorno sull'investimento grazie all'affidabilità delle prestazioni
Il sensore di flusso rimovibile elimina la necessità di monitorare e regolare continuamente le pressioni del gas
Facilmente installabile e manutenibile con ingressi/uscite solo analogiche
Applicazioni
Fibra ottica
LED / MOCVD
Semiconduttori
Solare
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