Regolatore di portata massico GF1 series

per gas

Potenziata con la velocità di EtherCAT Prestazioni perfezionate per i processi dei semiconduttori - La diagnostica integrata sfrutta le capacità di acquisizione dati EtherCAT® in tempo reale - Il sensore di portata ultra-stabile (≤ 0,15% di deriva S.P. all'anno) consente una maggiore precisione del set point basso e riduce i requisiti di manutenzione - Il miglioramento dello spegnimento della valvola (≤ 0,15% dell'intervallo) riduce il leak-by della valvola per ridurre gli effetti del primo wafer - L'insensibilità ai transitori di pressione, recentemente migliorata, riduce la sensibilità al crosstalk per un'erogazione costante del flusso di massa Caratteristiche - Stabilità di zero a lungo termine di <±0,15% di fondo scala all'anno - Tempi di assestamento: 300 ms - <1 secondo - Percorso di flusso a tenuta interamente metallica: opzione per finitura superficiale da 5µ o 10µ pollici Ra - Il sensore Hastelloy® T-Rise resistente alla corrosione migliora la riproducibilità delle misure a temperature elevate - Programmazione del gas e dell'intervallo MultiFloTM: un solo dispositivo, migliaia di tipi di gas e combinazioni di intervalli senza rimuovere l'MFC dalla linea del gas o compromettere la precisione - Il comodo display utente e la porta di diagnostica/assistenza indipendente facilitano l'installazione, il monitoraggio e la risoluzione dei problemi del dispositivo GF120 Safe Delivery System (SDS®) è il controllore di flusso di massa a bassa caduta di pressione all'avanguardia di Brooks per l'erogazione di gas SDS (Safe Delivery System) sub atmosferici utilizzati nei processi di implantologia e mordenzatura