Misuratore termico di portata massica 9861

massicoper gasin acciaio inossidabile

i controllori e misuratori di portata massica (MFC) per alte temperature sono progettati per controllare e misurare la portata massica di vapore da sorgenti liquide o solide per supportare il crescente utilizzo di questi precursori nei processi di produzione dei semiconduttori. Il modulo di flusso del GF120xHT è in grado di sopportare ambienti operativi fino a 150°C. Per supportare questo intervallo di temperature, l'elettronica è collegata in remoto al resto del dispositivo e montata in una posizione a temperatura inferiore (max 50°C). L'elettronica remota può essere montata su DIN con una scelta di tre diverse lunghezze di cavo di interconnessione: 3 piedi, 8 piedi e 16,5 piedi standard. L'ampia gamma di protocolli di comunicazione e di opzioni di montaggio rende il GF120xHT una scelta ideale per le apparecchiature di processo di nuova generazione e per l'aggiornamento degli MFC riscaldati esistenti. Caratteristiche Progettato per applicazioni ad alta temperatura fino a 150°C La comoda porta di servizio consente di accedere alla diagnostica tramite un'interfaccia di facile utilizzo Sensore in Hastelloy resistente alla corrosione Calibrato in base alle condizioni di processo del cliente Vantaggi Capacità di supportare applicazioni fino a 150°C per l'erogazione di vapore di precursori liquidi L'interfaccia diagnostica di facile utilizzo supporta l'ingegnere di processo nell'assicurare che l'MFC operi entro i limiti specificati per un'elevata resa e il massimo tempo di attività Fornisce un'impareggiabile stabilità a lungo termine del sensore per ottenere il massimo rendimento e la massima resa Calibrato alla temperatura e alla pressione di esercizio del cliente per prestazioni ottimali