SEM5000X è un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo ad altissima risoluzione (FE-SEM) con una risoluzione di 0,6 nm@15 kV e 1,0 nm@1 kV
risoluzione di 0,6 nm@15 kV e 1,0 nm@1 kV. Grazie al processo di ingegnerizzazione della colonna, alla tecnologia "SuperTunnel" e al design dell'obiettivo ad alta risoluzione, il SEM5000X è in grado di ottenere ulteriori miglioramenti nella risoluzione delle immagini a bassa tensione. Le porte della camera del campione arrivano a 16 e il blocco di carico per lo scambio del campione supporta wafer di dimensioni fino a 8 pollici (diametro massimo 208 mm), ampliando così notevolmente la copertura delle applicazioni. Le modalità di scansione avanzate e le funzioni automatizzate migliorate garantiscono prestazioni più elevate e un'esperienza ancora più ottimizzata.
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