Microscopio elettronico a scansione ad emissione di campo HEM6000

da laboratorioper analisi di materialeper semiconduttore

Microscopio elettronico a scansione ad alta velocità per l'imaging su scala trasversale di campioni di grandi dimensioni Il CIQTEK HEM6000 è dotato di tecnologie quali il cannone elettronico ad alta luminosità a grande corrente, il sistema di deflessione del fascio di elettroni ad alta velocità, la decelerazione dello stadio del campione ad alta tensione, l'asse ottico dinamico e l'obiettivo combinato elettromagnetico ed elettrostatico a immersione per ottenere l'acquisizione di immagini ad alta velocità garantendo al contempo una risoluzione su scala nanometrica. Il processo operativo automatizzato è stato progettato per applicazioni quali un flusso di lavoro più efficiente e intelligente per l'imaging ad alta risoluzione su grandi superfici. La velocità di acquisizione delle immagini può raggiungere oltre 5 volte quella di un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo (fesem) convenzionale. 1. Velocità di acquisizione delle immagini: 10 ns/pixel，2*100 M pixel/s 2. Risoluzione：1,3 nm@3 kV, SE; 1,5 nm@1 kV, SE，0,9 nm@30 kV, STEM 3. Tensione di accelerazione: 0,1 kV~6 kV (modalità di decelerazione)，6 kV~30 kV (modalità di non decelerazione) 4. Campo visivo: massimo 1*1 mm2; distorsione minima ad alta risoluzione 64*64 um2 5. Ripetibilità dello stadio: X ±0,6 um，Y ±0,3 um 6. Sistema di filtraggio degli elettroni di segnale: commutazione senza segnale SE/BSE, miscelazione con rapporto regolabile 7. Sistema di deviazione del fascio ad alta velocità completamente elettrostatico： Possibilità di ottenere immagini a grande campo ad alta risoluzione Massimo. Campo visivo fino a 32um*32 um a 4 nm per pixel 8. Tecnologia di decelerazione dello stadio campione：Riduce la tensione di atterraggio degli elettroni incidenti, aumentando l'efficienza di cattura degli elettroni del segnale 9.Sistema di deviazione del fascio dell'obiettivo a immersione elettromagnetica ed elettrostatica: il campo magnetico dell'obiettivo immerge il campione, contribuendo all'acquisizione di immagini ad alta risoluzione a bassa aberrazione