Profilometro ottico Tencor™ P-17

3Da stiloper la misurazione della rugosità

Il Tencor P-17 è un profilatore a stilo da banco di ottava generazione, costruito sulla base di oltre 40 anni di esperienza nella metrologia delle superfici. Questo sistema leader del settore supporta la misura dell'altezza del gradino 2D e 3D, della rugosità, dell'arco e delle sollecitazioni per scansioni fino a 200 mm senza cuciture. L'eccellente stabilità di misura è ottenuta grazie alla combinazione di un sensore UltraLite®, di un controllo a forza costante e di uno stadio di scansione ultrapiatto. L'impostazione della ricetta è semplice e veloce grazie ai controlli point-and-click dello stage, all'ottica con vista dall'alto e laterale e alla fotocamera ad alta risoluzione con zoom ottico. Il profilometro a stilo Tencor P-17 supporta misure 2D o 3D, con una serie di algoritmi di filtraggio, livellamento e analisi per quantificare la topografia della superficie. Le misure sono completamente automatizzate grazie al riconoscimento dei modelli, alla sequenzialità e al rilevamento delle caratteristiche. - Altezza del gradino: Da nanometri a 1000 µm - Forza ridotta con controllo costante della forza: da 0,03 a 50mg - Scansione dell'intero diametro del campione senza cuciture - Video: telecamera a colori ad alta risoluzione da 5MP - Correzione dell'arco: Rimuove l'errore dovuto al movimento ad arco dello stilo - Software: Interfaccia software di facile utilizzo - Capacità di produzione: Completamente automatizzata con sequenziamento, riconoscimento dei modelli e SECS/GEM Applicazioni - Altezza del gradino: altezza del gradino 2D e 3D - Struttura: rugosità e ondulazione 2D e 3D - Forma: arco e forma 2D e 3D - Sollecitazioni: sollecitazione del film sottile 2D e 3D - Revisione dei difetti: topografia superficiale dei difetti 2D e 3D