Profilometro ottico Zeta™-20

3Dcon interferometria a luce biancaper semiconduttore

Il profilatore ottico del benchtop Zeta-20 è un senza contatto, sistema di misura della topografia della superficie 3D. Il sistema è alimentato dalla tecnologia brevettata di ZDot™ e dall'ottica mista, permettendo alla misura di vari campioni: trasparente ed opaco, basso ad alta riflettanza, lisci a struttura approssimativa e ad altezze di punto dai nanometri ai millimetri. Lo Zeta-20 integra le sei tecnologie ottiche differenti della metrologia in un sistema configurabile e di facile impiego. Il modo di misura di ZDot™ raccoglie simultaneamente una ricerca ad alta definizione 3D e un'immagine infinita del fuoco di vero colore. Altre tecniche di misura 3D comprendono la microscopia di contrasto di interferometria della luce bianca, di interferenza di Nomarski e l'interferometria di taglio. Lo spessore di film può essere misurato con ZDot o un riflettometro a banda larga integrato. Lo Zeta-20 è inoltre un microscopio di qualità superiore che può essere utilizzato per la critica del campione o l'ispezione automatizzata di difetto. Lo Zeta-20 sostiene sia la R & S che gli ambienti di produzione fornendo l'altezza di punto, la rugosità e le misure complete di spessore di film e diserta la capacità di ispezione. Applicazioni Altezza di punto: altezza di punto 3D dai nanometri ai millimetri Struttura: rugosità 3D ed ondosità su liscio alle superfici molto ruvide Forma: arco 3D e forma Sforzo: 2D sforzo del film sottile Spessore di film: spessore di film trasparente da 30nm a 100µm Ispezione di difetto: difetti di bloccaggio maggiori di 1µm Rassegna di difetto: Gli archivi di KLARF sono usati per traversare ai difetti per misurare le posizioni di difetto della topografia o dello scrivano della superficie 3D