Profilometro ottico Zeta™-20

3Dcon interferometria a luce biancaper semiconduttore

Il profilatore ottico da banco Zeta-20 è un sistema di misura della topografia superficiale 3D senza contatto. Il sistema si avvale della tecnologia brevettata ZDot™ e dell'ottica Multi-Mode, che consente di misurare una varietà di campioni: trasparenti e opachi, a bassa o alta riflettanza, con struttura liscia o ruvida, e con altezze di passo da nanometri a millimetri. Lo Zeta-20 integra sei diverse tecnologie di metrologia ottica in un unico sistema configurabile e facile da usare. La modalità di misura ZDot™ raccoglie simultaneamente una scansione 3D ad alta risoluzione e un'immagine True Color a fuoco infinito. Altre tecniche di misura 3D includono l'interferometria a luce bianca, la microscopia a contrasto di interferenza Nomarski e l'interferometria a taglio. Lo spessore del film può essere misurato con ZDot o con un riflettometro a banda larga integrato. Lo Zeta-20 è anche un microscopio di fascia alta che può essere utilizzato per la revisione dei campioni o per l'ispezione automatica dei difetti. Lo Zeta-20 supporta sia gli ambienti di ricerca e sviluppo che quelli di produzione, fornendo misure complete dell'altezza del gradino, della rugosità e dello spessore del film, nonché capacità di ispezione dei difetti. Caratteristiche Profilatore ottico di facile utilizzo con ottiche ZDot e Multi-Mode per rispondere a un'ampia gamma di applicazioni Applicazioni Altezza del gradino: altezza del gradino 3D da nanometri a millimetri Struttura: rugosità e ondulazioni 3D su superfici da lisce a molto ruvide Forma: arco e forma 3D Sollecitazioni: stress da film sottile 2D Spessore del film: spessore del film trasparente da 30nm a 100µm Ispezione dei difetti: cattura dei difetti superiori a 1µm Esame dei difetti: I file KLARF vengono utilizzati per navigare verso i difetti per misurare la topografia della superficie in 3D o per tracciare le posizioni dei difetti