Profilometro ottico Zeta™-388

3Dcon interferometria a luce biancaper la misurazione della rugosità

Il profilatore senza contatto Zeta™-388 offre capacità di metrologia e imaging 3D, combinate con un tavolo di isolamento integrato e un sistema di movimentazione dei wafer da cassetta a cassetta per misure completamente automatizzate. Il sistema è alimentato dalla tecnologia ZDot™, che raccoglie simultaneamente dati 3D ad alta risoluzione e un'immagine True Color a fuoco infinito. Lo Zeta-388 supporta sia gli ambienti di ricerca e sviluppo che quelli di produzione grazie all'ottica Multi-Mode, al software di facile utilizzo, al basso costo di gestione e alle comunicazioni SECS/GEM. Il profilatore ottico Zeta-388 è un sistema di misura della topografia superficiale 3D senza contatto. Lo Zeta-388 si basa sulle capacità dello Zeta-300 con l'aggiunta di un manipolatore di cassette per misure completamente automatizzate. Il sistema si avvale della tecnologia brevettata ZDot e dell'ottica Multi-Mode, che consente di misurare una varietà di campioni: trasparenti e opachi, a bassa o alta riflettanza, con struttura liscia o ruvida, e con altezze di passo da nanometri a millimetri. Il sistema di metrologia ottica automatizzato Zeta-388 integra sei diverse tecnologie di metrologia ottica in un unico sistema configurabile e facile da usare. La modalità di misura ZDot raccoglie simultaneamente una scansione 3D ad alta risoluzione e un'immagine True Color a fuoco infinito. Altre tecniche di misura 3D includono l'interferometria a luce bianca, la microscopia a contrasto di interferenza Nomarski e l'interferometria a taglio. Lo spessore del film può essere misurato con ZDot o con un riflettometro a banda larga integrato. Lo Zeta-388 è anche un microscopio di fascia alta che può essere utilizzato per la revisione dei campioni o per l'ispezione automatica dei difetti.