Il profilatore a stilo da banco Tencor P-7 si basa sul successo del sistema di profilatura a stilo da banco Tencor P-17, leader del mercato. Include le prestazioni di misura superiori della tecnologia P-17 in una piattaforma che offre un ottimo rapporto qualità-prezzo per un profilatore da banco. Il profilatore di stili Tencor P-7 supporta misure 2D e 3D di altezza dei gradini, rugosità, arco e sollecitazioni per scansioni fino a 150 mm senza cuciture.
- Altezza dei gradini: Da nanometri a 1000 µm
- Forza ridotta con controllo costante della forza: da 0,03 a 50mg
- Scansione dell'intero diametro del campione senza cuciture
- Video: telecamera a colori ad alta risoluzione da 5MP
- Correzione dell'arco: Rimuove l'errore dovuto al movimento ad arco dello stilo
- Software: Interfaccia software di facile utilizzo
- Capacità di produzione: Completamente automatizzata con sequenziamento, riconoscimento dei modelli e SECS/GEM
Applicazioni
- Altezza del gradino: altezza del gradino 2D e 3D
- Struttura: rugosità e ondulazione 2D e 3D
- Forma: arco e forma 2D e 3D
- Sollecitazioni: sollecitazione del film sottile 2D e 3D
- Revisione dei difetti: topografia superficiale dei difetti 2D e 3D
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