Con una tendenza emergente nell'applicazione di matrici e substrati più sottili, iStack™ W+ offre una soluzione per l'applicazione di matrici a livello wafer.
Caratteristiche e opzioni
Kit ad alta precisione (5 μm)
Funzioni di mappatura (Substrato / Wafer)
Kit di rimozione della contaminazione di wafer / substrato
Kit OHT / AGV
UV (In-Situ / Post-Bond)
Kit di monitoraggio della contaminazione dell'utensile
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