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Sistema di posizionamento per ispezione Wafer e metrologia 782430:002.26
XYZlineareper camera bianca

sistema di posizionamento per ispezione Wafer e metrologia
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Caratteristiche

Numero di assi
XYZ
Struttura
lineare
Applicazioni
per ispezione Wafer e metrologia, per camera bianca
Altre caratteristiche
a motore DC, con vite a sfere, con motore lineare, su rotaia profilata
Ripetibilità

0,3 mm, 0,5 mm
(0,012 in, 0,02 in)

Corsa

100 mm, 820 mm
(3,94 in, 32,28 in)

Velocità

150 mm/s, 750 mm/s

Descrizione

Questo sistema di ispezione è costituito da quattro assi per camera bianca e consente la misurazione automatizzata di più oggetti contemporaneamente. Si ottiene un'elevata dinamica e la massima riproducibilità. Una telecamera o un sensore ad alta risoluzione viene mosso rispetto al campione per ispezionare le geometrie, eseguire misurazioni e documentare particolari caratteristiche di qualità. Ispezione automatizzata e a bassa manutenzione 24/7 - Ideale per l'ispezione automatizzata di wafer, schede di sonde e circuiti stampati - Ispezione di più oggetti contemporaneamente con corse fino a 720 mm - Ideale per l'integrazione di due processi contemporaneamente - Funzionamento 24/7 a bassa manutenzione e concetto di manutenzione flessibile grazie alla rapida sostituzione del sistema sulla struttura in granito Espandibile in opzione: - Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Connessioni per scarico e coperture a nastro rotante - Disponibile anche come portale singolo - Sistema di controllo pronto per l'uso con controllore preconfigurato, incluso il software di campionamento

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