Sistema di posizionamento monoassiale 782424:005.26

linearerotativoper ispezione Wafer e metrologia

Sistema di posizionamento X Phi per l'ispezione di wafer, campioni biologici (camera bianca ISO 5) | asse rotante e stadio lineare - Ispezione e mikroscopia Posizionamento lineare-rotatorio di alta precisione Questo sistema X Phi consente di posizionare i campioni (ad es. wafer, campioni biologici) con un angolo definito con precisione rispetto al sensore o alla telecamera. È costituito da un asse lineare X, dal preciso stadio lineare standard PMT160 con vite a ricircolo di sfere e da un'unità rotante integrata con corsa illimitata, azionata da cinghie piatte. Per garantire l'idoneità alla camera bianca, le guide dei cavi sia per il sistema di misura centrato che per l'unità rotante in movimento sono state alloggiate all'interno dell'involucro del sistema lineare. I soffietti sigillano il sistema dall'esterno per evitare l'emissione di particelle. Sistema di posizionamento senza manutenzione per camere bianche - Ideale per le attività di ispezione nella tecnologia dei semiconduttori, nella biotecnologia e nell'industria farmaceutica - Misura di alta precisione con ripetibilità fino a 0,3 µm - L'eccellente planarità dello stadio lineare consente la misurazione di alta precisione dello spessore del rivestimento con un solo sensore - Riduzione dell'emissione di particelle alla classe ISO 5 grazie all'alloggiamento e al soffietto - Esente da manutenzione, funzionamento continuo a livello industriale e semplice sostituzione del sistema sulla piastra di base Espandibile in opzione: - Ulteriori versioni per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Piastra di base in granito o alluminio - Motori speciali sigillati ermeticamente con approvazione farmaceutica - Versioni per condizioni ambientali estreme, ad esempio radiazioni e vuoto - Espandibile per applicazioni complete specifiche del cliente - Utilizzo immediato con controllore preconfigurato, incluso software esemplare