Sistema di posizionamento XYZ 782300:265.26

lineareper ispezione Wafer e metrologiaper l'industria dei semiconduttori

Misura ottica senza contatto altamente stabile. Questa combinazione XY è dotata di un'unità Z-verticale separata per il montaggio di un microscopio, una telecamera o un sensore personalizzati. Lo stadio trasversale KT310 con motore passo-passo sulla piastra di granito sposta il wafer da ispezionare verso il microscopio con elevata precisione e consente immagini stabili e ad alta risoluzione. La sua concezione con motori interni, guide a rulli incrociati e viti a ricircolo di sfere ad alta precisione consente una precisione eccezionale con un uso ottimale dello spazio di installazione Analisi di alta precisione dei più piccoli dettagli - Ideale per l'ispezione ottica di wafer, circuiti stampati e schede sonda - Facilmente adattabile a vari microscopi, telecamere o sensori personalizzati - Ispezione superficiale ad alta precisione di wafer fino a 200 x 200 mm - Manutenzione ridotta e rapporto qualità-prezzo ottimizzato grazie all'azionamento con motore passo-passo Estensioni opzionali: - Altre corse e lunghezze - Con/senza telaio e piastra di base in granito o alluminio - Versioni ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta), ad esempio con custodia e con sistema di scarico - Soluzioni personalizzate per il passaggio dei cavi - Disaccoppiamento delle vibrazioni adattato mediante strato di gomma smorzante o smorzatori pneumatici - Integrazione nell'applicazione complessiva specifica del cliente