Questa soluzione è progettata per automatizzare la movimentazione dei wafer ispezionati e copre vari processi quali lo scarico dei wafer dal sistema di ispezione, il trasporto dei wafer, l’ispezione delle pile di wafer, l’insacchettamento, la cernita, l’imballaggio in scatole e l’impilamento su pallet.
Ha introdotto per prima la completa automazione di questa fase produttiva e l’ha commercializzata
Garantisce la completa tracciabilità fisica e dei dati di tutti i wafer grazie alle informazioni relative all’intero processo
La linea Wafer Automation Pack è un sistema di automazione altamente integrato, i cui processi principali includono: Caricamento e trasporto: ricezione dei contenitori con i wafer smistati dalle aree di uscita di più sistemi di ispezione dei wafer e trasporto delle pile di wafer dopo la loro convergenza. Ispezione estetica: in genere si utilizza un sistema di visione per acquisire le quattro facce laterali e gli smussi della pila di wafer, concentrandosi sull’individuazione di difetti quali macchie, residui di adesivo e scheggiature sulle facce laterali che potrebbero essere sfuggiti durante il processo di ispezione effettuato dal sistema di ispezione dei wafer. Insaccamento e confezionamento: posizionamento automatico di carta oleata sulla parte superiore e inferiore di ciascuna pila di wafer, seguito dal caricamento della pila in un sacchetto di confezionamento. Successivamente, le pile di wafer vengono caricate in una scatola di confezionamento in base ai risultati dell’ispezione. La pallettizzazione può essere integrata a fine linea.Scenari di applicazione: Utilizzato principalmente nel processo di confezionamento di fine linea degli stabilimenti di produzione di wafer, si collega ai precedenti sistemi di ispezione dei wafer per formare un ciclo automatizzato completo, dall’ispezione al confezionamento.
Vantaggi tecnici: La funzionalità stabile di ispezione delle pile di wafer getta solide basi per operazioni completamente automatizzate e intelligenti, evitando la necessità di successive ispezioni manuali.
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