Macchina per deposizione CVD

La macchina LPCVD, grazie a un processo collaudato e stabile, è una delle prime macchine utilizzate per la produzione in serie di celle TOPcon. Elevata resa media, buona uniformità del film Il nostro sistema brevettato di immissione dell’aria migliora l’uniformità e la controllabilità del campo di flusso Elevata resa Il flusso uniforme dell’aria garantisce un film omogeneo e un’elevata resa. Lunga durata del tubo di quarzo: 6 mesi di durata del tubo di quarzo grazie all’innovativo design di fissaggio del tubo stesso e al basso consumo d’aria. Zone di temperatura stabili: la disposizione ottimale dei filamenti riscaldanti contribuisce a una buona uniformità e controllabilità, garantendo zone di temperatura stabili e controllabili.