Forno a camera

per trattamento termicoelettricocompatto

Il forno, progettato per celle di tipo N, integra il forno di cottura e il forno di passivazione indotta dalla luce, in modo da ridurre l’ingombro e risparmiare sul consumo energetico. Adatto per wafer da 182-230 mm Design compatto e risparmio energetico Design integrato del forno di cottura e di passivazione per risparmiare energia. Basso consumo energetico Design integrato per ridurre il consumo energetico Controllo preciso della temperatura L'eccellente progettazione della camera del forno, combinata con il sistema di controllo della temperatura sviluppato internamente, consente di ottenere un controllo della temperatura a circuito chiuso. Maggiore efficienza La zona a induzione luminosa utilizza una lampada a LED con una lunghezza d’onda speciale, in grado di migliorare l’efficienza in combinazione con le impostazioni dei parametri di processo. Elevata compatibilità Supporta celle intere o tagliate a metà.