La ceramica BN-AlN è ottenuta dalla sinterizzazione di nitruro di boro (BN) e nitruro di alluminio (AIN) in polvere. Presenta eccellenti caratteristiche di isolamento elettrico, conducibilità termica, elevata resistenza, resistenza agli shock termici e forte resistenza al plasma di gas alogeni, offrendo un'ampia gamma di applicazioni, tra cui componenti per apparecchiature di produzione di semiconduttori e componenti che richiedono un'efficace dissipazione del calore.
La sorgente ionica è un dispositivo che crea ioni atomici e molecolari, che si trova nella camera a vuoto. Il nitruro di alluminio/nitruro di boro è un eccellente isolante elettrico, conduttività termica, capacità di tenuta al vuoto e non emette molti gas. Pertanto, svolge un ruolo di dissipatore di calore e di piastra di trasferimento termico nelle sorgenti di ioni.
Vantaggi del materiale:
Elevata resistenza meccanica.
Elevata conducibilità termica.
Bassa espansione termica.
Bassa perdita dielettrica.
Eccellente isolamento elettrico.
Elevata resistenza alla corrosione, non bagnata da metalli fusi.
Eccellente lavorabilità-BN-AlN può essere lavorato per ottenere forme complesse di alta precisione.
Ha un'eccellente capacità di tenuta al vuoto e non emette molto gas.
Le proprietà delle onde ad alta frequenza consentono il passaggio della luce infrarossa visibile.
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