Crogiolo per l'industria dei semiconduttori

ceramicaper applicazioni ad alta temperaturain alluminio

Panoramica del prodotto
I crogioli conduttivi in nitruro di boro di INNOVACERA sono progettati per i processi di evaporazione a fascio di elettroni e per evaporazione termica nella fabbricazione di semiconduttori e film sottili. La superficie conduttiva a bassa bagnabilità e la composizione ad alta purezza proteggono i substrati dalla contaminazione e consentono un'evaporazione controllata di metalli e materiali ceramici. Utilizzabili per la fusione di leghe, la sinterizzazione di terre rare e ceramiche e per numerose applicazioni di rivestimento.

Proprietà principali e impieghi
Questi crogioli mostrano eccellente resistenza alle alte temperature e agli shock termici. Sono chimicamente stabili rispetto a molti metalli e ceramiche di terre rare e rimangono integri durante riscaldamenti e raffreddamenti rapidi. Impieghi tipici: evaporazione a fascio di elettroni, evaporazione termica con riscaldamento a induzione o resistivo, deposizione di alluminio e silicio e altri processi di deposizione di film sottili.

Vantaggi

• Elevata purezza e finitura superficiale che riducono la contaminazione e migliorano la qualità del film.
• Aumento della velocità di evaporazione per depositi più rapidi e tempi di ciclo ridotti.
• Maggiore stabilità termica che riduce il consumo energetico e aumenta la coerenza del processo.
• Lunga durata utile che riduce i fermi macchina e la frequenza di sostituzione.

Vantaggi / Caratteristiche

• Eccellente resistenza ad alte temperature e cicli termici ripetuti.
• Basso coefficiente di espansione termica e scarsa bagnabilità da parte della maggior parte dei metalli fusi.
• Resistente al calore fino a 2000℃; il nitruro di boro non reagisce con l'alluminio e non è volatile.
• Maggiore velocità di evaporazione: cicli di processo più brevi e rese complessive migliorate.
• Cambio rapido di materiale: minimizza i tempi di inattività della camera e accelera i cambi di produzione.
• Stabilità termica migliorata che garantisce un'evaporazione coerente e controllabile.

Specifiche tecniche

• Ingredienti principali: BN + TiB2
• Densità: 3.0 g/cm3
• Composizione legante: B2O3
• Colore: Grigio
• Resistività a temperatura ambiente: 300-2000 Ω·cm
• Temperatura di esercizio: sotto 1800℃
• Conduttività termica: > 40 W/m·K
• Coefficiente di dilatazione termica: (4-6) x 10⁻⁶ K⁻¹
• Resistenza a flessione: > 130 MPa
• Velocità di evaporazione: 0.35-0.5 g/min·cm²