Resistenza riscaldante piatta

in nitruro di boro pirolitico

Elemento Il nitruro di boro pirolitico ad alta purezza e ad alte prestazioni è utilizzato come substrato per l'elemento riscaldante PBN. La grafite pirolitica (PG) viene posta sulla superficie delle piastre PBN con il metodo CVD come conduttore e riscaldatore. Poiché sia il PG che il PBN sono estremamente puri e molto stabili nel vuoto o in atmosfera inerte, l'elemento riscaldante PBN-PG può essere molto resistente e mantenere la camera pulita. Può essere riscaldato a 1600°C in un tempo molto breve senza l'emissione di alcun componente gassoso. Questi elementi riscaldanti sono prodotti ideali per l'industria dei semiconduttori e per le applicazioni che richiedono alta temperatura, alto vuoto ed elevata purezza.