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Allineatori di maschere per wafer
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... allineamento. Ha un modulo di allineamento che dispone di set di inserti per maschere e mandrini per wafer a cambio rapido che consentono l'uso di una varietà di substrati e maschere ...

... L'EVG®610 è un sistema di ricerca e sviluppo compatto e polivalente che può gestire piccoli pezzi di substrato e wafer fino a 200 mm. L'EVG610 supporta una varietà di processi litografici standard, come le modalità di ...
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... all'avanguardia per l'allineamento delle maschere su un'area di ingombro minimo fino a 150 mm di dimensione dei wafer. Nota per la sua versatilità e affidabilità, l'EVG620 NT offre una tecnologia di allineamento ...
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