Sensore di pressione relativa SE103

assolutain silicioMEMS

Il modello SE103 è progettato come sensore di pressione piezoresistivo per misure di pressione relativa o assoluta per scopi generici. Le matrici del sensore sono prodotte con un processo di silicio su silicio da 6″ con tecnologia MEMS. Il modello SE103 è disponibile con un ingombro di 1,7 mm x 1,7 mm. Rispetto al modello SE101, il modello SE103 presenta una struttura a cavità insieme alla membrana di silicio, anziché un vincolo di silicio. Ciò consente all'SE103 di ottenere un errore di non linearità inferiore e di essere utilizzato per misure di calibro o differenziali senza il suo vincolo. Progettato come sensore non compensato, l'SE103 è disponibile in un circuito a ponte chiuso di 4 piazzole di saldatura. Prima del confezionamento, ogni die del sensore SE103 viene testato e ispezionato. Sono disponibili tre tipi di confezionamento per soddisfare le diverse esigenze di marketing.