Macchina di deposizione per polverizzazione catodica per metallizzazione FLC

per automobile

Panoramica
La serie LEYBOLD OPTICS FLC è composta da sistemi di deposizione sputter roll-to-roll in alto vuoto, progettati per attività di R&S e produzione. Con una configurazione modulare e fino a sei catodi rotanti, la serie consente depositi multistrato in singola passata e sono disponibili larghezze di rivestimento di 650 mm, 1600 mm e 2000 mm.

Vantaggi principali

• Deposizione multistrato in singola passata mediante separazione dei gas opzionale tra le sezioni di processo, consentendo stack misti metallo/di elettrico in un unico passaggio.
• Configurazione flessibile: fino a sei catodi rotanti, più opzioni di alimentazione, metrologia in-situ, pretrattamento al plasma e sistemi di avvolgimento configurabili per diversi substrati e processi.
• Rapida riconfigurazione tra applicazioni tramite sostituzione degli obiettivi e delle ricette con modifiche hardware minime, adatto a R&S e produzione pilota.

Caratteristiche principali

• Versatilità: supporto per alimentazioni DC, DC pulsato unipolare, DC pulsato bipolare e MF per processi reattivi e non reattivi.
• Controllo delle particelle e stabilità del processo: orientamento sputter-up dei catodi, pompe turbomolecolari, trappole fredde e tamburo di rivestimento a temperatura controllata (standard -15 a +80 °C).
• Manutenzione: concezione della macchina che facilita l'accesso ai componenti principali per pulizia e interventi di manutenzione.

Substrati e materiali compatibili

• Substrati: PET, PEN, PI, alluminio, acciaio inox, rame, vetro flessibile; diametro massimo del rotolo fino a 500 mm.
• Materiali di deposizione: metalli (Ag, Al, Cu, Cr, NiCr, Ti) e dielettrici/ossidi (AZO, ITO, SiO2, SiN, SnO2, Nb2O5, TiO2).

Applicazioni

• Rivestimenti conduttivi trasparenti ITO per display e touch.
• Circuiti stampati flessibili (FPCB) e metallizzazione di film per condensatori a rullo.
• Vetro a bassa emissività (low-e) e vetro intelligente, fogli elettrocromici per serramenti architettonici e automobilistici.
• Rivestimenti funzionali per migliorare le prestazioni delle batterie agli ioni di litio e altri materiali elettronici avanzati.

Altre caratteristiche / Specifiche tecniche

• Famiglia di modelli: LEYBOLD OPTICS FLC series
• Taglie macchina / larghezze di rivestimento: 650 mm, 1600 mm, 2000 mm
• Larghezza tipica (es. FLC 650): fino a 650 mm
• Diametro massimo rotolo substrato: fino a 500 mm
• Intervallo temperatura tamburo: standard -15 °C a +80 °C
• Catodi: fino a sei catodi rotanti; orientamento sputter-up
• Alimentazioni supportate: DC, DC pulsato unipolare, DC pulsato bipolare, MF
• Sistemi di vuoto: pompe turbomolecolari e trappole fredde
• Opzioni di processo: separazione gas tra sezioni, pretrattamento al plasma, misurazione strato in-situ, controllo processo ad anello chiuso, sistema di avvolgimento configurabile