Sistema di posizionamento architettura impilata CHARON2

6 assimonoassiale3 assi

La piattaforma CHARON2 è costruita su un'architettura robusta, affidabile ed elegantemente impilata, progettata secondo i principi di modularità e scalabilità. Si parte da un asse X autonomo fino ad un sistema di movimento completo fino a 7 assi. Le prestazioni delle schede tecniche sono disponibili con diverse configurazioni elettroniche La sua compatibilità con i moduli e le opzioni attuali e futuri permette di coprire il più ampio spazio applicativo e i casi d'uso. Questa piattaforma flessibile, scalabile, modulare e aggiornabile offre un livello di ingresso a tutte le applicazioni dei semiconduttori e a molti casi d'uso di altri mercati, ad esempio medico, farmaceutico, scienza dei materiali e altri In continua evoluzione in tutti i mercati serviti, la piattaforma CHARON2 supporta l'estensione della durata di vita dei prodotti OEM e i percorsi di aggiornamento. La sua precisione di posizione di ±1 µm di livello abbinata ad un'eccellente ripetibilità bidirezionale e ad un'elevata dinamica sostiene lo sviluppo di applicazioni in tutti i campi della tecnologia e dell'industria. Caratteristiche - Corsa totale : fino a 650 mm x 410 mm - Disponibile in 9 standard x 2 elettroniche = 18 configurazioni come prodotti pronti all'uso - Ingombro compatto - Carico utile fino a 30 Kg - Opzioni e caratteristiche incluse: aspirazione delle particelle delle rotaie (brevetto ETEL), segnali personalizzati, linee pneumatiche e altro ancora. - Compatibilità con la camera bianca ISO1 - Correzione dell'inclinazione con il modulo combinato Z3TM - Alimentazione a vuoto integrata a livello del mandrino - Tempi brevi di trasloco e di assestamento Specifiche principali - Precisione di posizione: ±1 µm per XY e ±3 arcsec per T - Stabilità di posizione: ±2 nm per XY, ±0,02 arcsec per T e ±3 nm per Z fine - Ripetibilità bidirezionale: ±0,4 µm per XY, ±2 µm per T e ±0,03 µm per Z fine