Il TBS è un asse lineare ad alta precisione con 1 grado di libertà. Si tratta di un asse lineare ad azionamento indiretto basato su cuscinetti meccanici che offre prestazioni eccezionali in termini di accuratezza e precisione nella sua categoria. L'asse è controllato da un servomotore ad alte prestazioni a basso cogging e utilizza uno schema di controllo a retroazione a doppio encoder che, oltre a fornire prestazioni eccellenti, ne semplifica la messa in servizio. Oltre all'avanzato controllo indiretto, che si basa sulle tecnologie degli encoder del Gruppo HEIDENHAIN, l'asse presenta caratteristiche meccaniche ineguagliabili su tutta la corsa, con movimenti macro e micro.
Questo asse include anche caratteristiche di progettazione e opzioni specifiche come il disaccoppiamento termico delle fonti di calore, l'elevata rigidità e l'arresto micrometrico che lo rendono particolarmente interessante per le applicazioni che richiedono stabilità e sicurezza del processo
Con l'obiettivo di facilitare le applicazioni dei semiconduttori, l'asse è in grado di soddisfare tutte le esigenze e i mercati che richiedono soluzioni di alta precisione, pulizia, stabilità e accuratezza.
Caratteristiche
- Corsa totale: 50 mm
- Carico utile massimo: 45 kg
- Azionamento indiretto - vite a sfere di alta precisione
- Feedback a doppio encoder
- Compatibilità con le camere bianche: ISO2 (ISO1 opzionale)
- Opzioni disponibili, come il fermo micrometrico.
Specifiche principali
- Ripetibilità bidirezionale: ± 0,3 µm
- Rettilineità del micromovimento: ± 50 nm
- Stabilità di posizione: ± 10 nm
- Velocità fino a 0,03 m/s
- Accelerazione fino a 0,5 g
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