Asse lineare di precisione TBS

con vite a sferecon servomotoread alta prestazione

L'asse lineare TBS di ETEL offre una precisione e delle prestazioni senza pari, che lo rendono la soluzione ideale per applicazioni di alta precisione in diversi settori. Il TBS è un asse lineare di alta precisione con 1 grado di libertà, che utilizza un sistema di azionamento indiretto basato su cuscinetti meccanici. Questo design offre un'accuratezza e una precisione eccezionali per la sua categoria. Controllato da un servomotore ad alte prestazioni e a basso ingranamento e dotato di uno schema di controllo di retroazione a doppio encoder, l'asse TBS garantisce prestazioni eccellenti. L'asse sfrutta le tecnologie avanzate degli encoder di HEIDENHAIN Corporate Group e presenta caratteristiche meccaniche ineguagliabili per il movimento macro e micro sull'intera corsa. Caratteristiche specifiche di progettazione come il disaccoppiamento termico delle fonti di calore, l'elevata rigidità e l'hard stop micrometrico migliorano la stabilità e la sicurezza del processo. Il TBS è particolarmente adatto alle applicazioni dei semiconduttori, tra cui il controllo del processo dei wafer, la metrologia overlay, la metrologia delle dimensioni critiche e dei film sottili, nonché la fotonica. Soddisfa anche le esigenze di altri settori che richiedono alta precisione, pulizia, stabilità e accuratezza. Caratteristiche Carico utile massimo: 45 kg Azionamento indiretto - vite a sfere di alta precisione Feedback a doppio encoder Opzioni disponibili, come l'arresto rigido micrometrico Ecco le caratteristiche principali: L'asse raggiunge una ripetibilità bidirezionale di ±0,3 µm, una rettilineità del micromovimento di ±50 nm e una stabilità di posizione di ±10 nm, garantendo un controllo del movimento preciso e costante. Capacità di carico utile Con un carico utile massimo di 45 kg, offre versatilità e affidabilità per un'ampia gamma di applicazioni.