Asse rotante a presa diretta DXRH

per semiconduttoredi precisione

Il DXRH è l'ultima aggiunta alle soluzioni di assi rotanti di ETEL. Si tratta di un asse rotativo a 1 DOF basato su cuscinetti meccanici che offre prestazioni eccezionali in termini di accuratezza e precisione. Dotato di un encoder a 360'000 linee e di caratteristiche meccaniche impareggiabili direttamente paragonabili alla soluzione con cuscinetto ad aria senza la complessità associata, il DXRH è servito nel suo cuore dalla migliore tecnologia HEIDENHAIN di encoder e cuscinetti, e dal motore senza denti con tecnologia di azionamento diretto ETEL senza alcun ripple di coppia. Completamente compatibile con le interfacce ETEL standard, il modulo DXRH è disponibile come modulo autonomo o integrato nel portafoglio di sistemi ETEL. Fornisce anche un percorso di aggiornamento delle prestazioni per tutte le applicazioni basate su DXR+ senza alcuna riprogettazione, poiché le interfacce sono identiche. Il modulo rotativo DXRH può essere integrato alle piattaforme CHARON2 e VULCANO2. Offre un'elevata rigidità, un'alta precisione, un'elevata accuratezza, un alto livello di pulizia e una bassa deformazione indotta dal calore grazie al suo design in acciaio inossidabile. Concentrandosi sull'agevolazione delle applicazioni dei semiconduttori, il modulo rimane una corrispondenza con tutti i diversi mercati e le esigenze che richiedono soluzioni per la rotazione ad alta precisione e alta accuratezza. Adatto a diverse applicazioni e industrie, il modulo rotante DXRH è particolarmente adatto alle applicazioni di controllo del processo dei wafer, come la metrologia di sovrapposizione, la metrologia delle dimensioni critiche e del film sottile, nonché la fotonica.