Asse rotante a presa diretta DXR+

per applicazioni elettronicheper semiconduttorecompatto

Il DXR+ è un modulo rotante di ETEL caratterizzato da un design compatto, massa leggera, albero cavo di grandi dimensioni e che fornisce il giusto rapporto prestazioni/costi per applicazioni mid-end in semiconduttori ed elettronica. Il DXR+ apporta importanti miglioramenti in termini di rigidità che ha un impatto diretto sulla larghezza di banda di controllo dello stadio XY che lo supporta. Il modulo DXR+ può funzionare con tensione bus da 48 VDC fino a 300 VDC. Può essere azionato da un AccurET modulare 48 o 300, o da un AccurET VHP per migliorare i requisiti di stabilità della posizione Il modulo DXR+ è la soluzione giusta per qualsiasi applicazione: - Morbidezza di movimento - Requisiti di precisione di tipo mid-end (tipicamente intorno ai 5 µm di runout) - Stabilità di posizione nell'intervallo di 100 nm con raggio di 150 mm L'uso di questo modulo è adatto per, ma non limitato a: - controllo di processo delle cialde, taglio delle cialde - tracciatura di wafer - ricottura laser -produzione di celle solari - ecc Specifiche principali : - Ripetibilità bidirezionale ±2 arcsec a ±3sigma - Precisione di posizione: fino a ±30 arcsec (senza calibrazione) e fino a ±3 arcsec dopo la calibrazione - Velocità fino a 400 giri/min - Stabilità di posizione ±0,2 archi sec - Capacità di stabilità ad alta velocità