Asse rotante a presa diretta DXR+
per applicazioni elettronicheper semiconduttorecompatto

asse rotante a presa diretta
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Caratteristiche

Tipo
a presa diretta
Applicazioni prodotto
per applicazioni elettroniche, per semiconduttore
Altre caratteristiche
compatto, di precisione
Configurazione
cavo

Descrizione

Il DXR+ è un modulo rotante di ETEL caratterizzato da un design compatto, massa leggera, albero cavo di grandi dimensioni e che fornisce il giusto rapporto prestazioni/costi per applicazioni mid-end in semiconduttori ed elettronica. Il DXR+ apporta importanti miglioramenti in termini di rigidità che ha un impatto diretto sulla larghezza di banda di controllo dello stadio XY che lo supporta. Il modulo DXR+ può funzionare con tensione bus da 48 VDC fino a 300 VDC. Può essere azionato da un AccurET modulare 48 o 300, o da un AccurET VHP per migliorare i requisiti di stabilità della posizione Il modulo DXR+ è la soluzione giusta per qualsiasi applicazione: - Morbidezza di movimento - Requisiti di precisione di tipo mid-end (tipicamente intorno ai 5 µm di runout) - Stabilità di posizione nell'intervallo di 100 nm con raggio di 150 mm L'uso di questo modulo è adatto per, ma non limitato a: - controllo di processo delle cialde, taglio delle cialde - tracciatura di wafer - ricottura laser -produzione di celle solari - ecc Specifiche principali : - Ripetibilità bidirezionale ±2 arcsec a ±3sigma - Precisione di posizione: fino a ±30 arcsec (senza calibrazione) e fino a ±3 arcsec dopo la calibrazione - Velocità fino a 400 giri/min - Stabilità di posizione ±0,2 archi sec - Capacità di stabilità ad alta velocità

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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.