Il DXR+ è un modulo rotante progettato per applicazioni di fascia media nell'industria dei semiconduttori e dell'elettronica, caratterizzato da un design compatto, una massa leggera e un albero cavo di grandi dimensioni per ottimizzare il rapporto prestazioni/costo.
Il sistema offre miglioramenti significativi in termini di rigidità e aumenta direttamente la larghezza di banda di controllo delle tavole XY di supporto. Funziona su un'ampia gamma di tensioni del bus, da 48 a 300 VDC. Può essere azionato da AccurET modular o AccurET VHP per requisiti di elevata stabilità di posizione.
Compatibile con le piattaforme XY standard, il modulo DXR+ offre versatilità con una corsa angolare illimitata o limitata a un segmento angolare. In determinate condizioni soddisfa gli standard di pulizia da ISO 5 a ISO 1.
Caratteristiche
Ripetibilità bidirezionale ±2 arcsec a ±3sigma
Precisione di posizione fino a ±30 arcsec senza calibrazione, fino a ±3 arcsec dopo la calibrazione
Velocità fino a 400 giri/min
Stabilità di posizione ±0,2 arcsec
Capacità di stabilità ad alta velocità
Ecco le caratteristiche principali:
Profilo e massa ridotti
Ideale per applicazioni di alta precisione.
Encoder ottico ad alta precisione
Assicura un controllo preciso del movimento.
Corsa illimitata o segmento angolare limitato
Offre flessibilità nel posizionamento.
Alimentazione del vuoto a livello del mandrino
Migliora la compatibilità con le applicazioni a vuoto.
Compatibilità con le camere bianche
Va dalla classe ISO 5 alla classe ISO 1, garantendo l'idoneità per gli ambienti controllati.
---