Sistema di posizionamento architettura impilata CHARON2HD
XY2 assilineare

Sistema di posizionamento architettura impilata - CHARON2HD - ETEL S.A. - XY / 2 assi / lineare
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Caratteristiche

Numero di assi
XY, 2 assi
Struttura
lineare
Applicazioni
per camera bianca
Altre caratteristiche
compatto, di precisione, architettura impilata
Ripetibilità

1 µm

Carico

30 kg
(66,14 lb)

Corsa

355 mm, 365 mm, 410 mm, 475 mm
(13,98 in, 14,37 in, 16,14 in, 18,7 in)

Velocità

1,25 m/s, 2 m/s
(4,1 ft/s, 6,56 ft/s)

Descrizione

HD sta per alta dinamica. Con CHARON2HD, la dinamica del prodotto base esistente viene raddoppiata senza compromessi sulle prestazioni. Come per la famiglia CHARON2, le versioni HD sono disponibili in una moltitudine di configurazioni predefinite che vanno dal singolo asse X al sistema di movimento completo a 6 gradi di libertà (DOF). La scelta tra le nostre elettroniche standard rende il sistema CHARON2HD scalabile nelle prestazioni per soddisfare al meglio le specifiche richieste. Rispetto a CHARON2, le versioni HD consentono di raddoppiare sia la velocità che l'accelerazione per raggiungere dinamiche di 2 m/s e 2g di accelerazione. Grazie all'interfaccia di montaggio standard, il CHARON2HD può essere considerato come un upgrade "drop-in" per aumentare il throughput dell'applicazione CHARON2 senza alcun compromesso sulle prestazioni. Caratteristiche Ingombro ridotto e design adatto ad applicazioni con spazio limitato Fino a 6 gradi di libertà Alimentazione del vuoto integrata e cavi di segnale del cliente a livello del mandrino Ecco le caratteristiche principali: Stabilità di posizione nanometrica Assicura una precisione di posizionamento per periodi prolungati. Correzione dell'inclinazione della punta con il modulo combinato Z3TM+ Consente una regolazione precisa per un posizionamento ottimale. Funzione Z grossolana con il modulo combinato Z3TM+ Meccanismo di sollevamento elettrico aggiuntivo da 12 mm per consentire il carico e lo scarico dei wafer. Alimentazione del vuoto incorporata a livello del mandrino Facilita un funzionamento efficiente garantendo una corretta gestione del materiale. Tempi di spostamento e assestamento ridotti Risposta rapida e stabilizzazione per una maggiore produttività.

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