Sistema di posizionamento architettura impilata VULCANO2

2-3 assia ponteper ispezione Wafer e metrologia

VULCANO2 è la nostra architettura gantry ad assi sovrapposti che combina i nostri rinomati motori ironcore, i cuscinetti meccanici e gli encoder ottici di fascia alta per offrire grandi prestazioni geometriche ad alta dinamica. Rispetto alla nostra famiglia CHARON2 impilata, il VULCANO2 offre principalmente un ciclo di lavoro e capacità di carico superiore. Il suo ingombro ridotto massimizza l'efficienza dei costi senza compromettere la produttività e i cicli di lavoro. Che sia standard o personalizzato, VULCANO2 garantisce ripetibilità e precisione costanti, anche in caso di funzionamento prolungato. Questa piattaforma è ideale per le applicazioni che richiedono precisione, come la metrologia overlay e i processi flip-chip su lastre di grandi dimensioni. Caratteristiche Fino a 6 gradi di libertà Alimentazione a vuoto incorporata e cavi di segnale del cliente a livello del mandrino Ecco le caratteristiche principali Stabilità di posizione nanometrica Assicura una precisione di posizionamento per periodi prolungati. Compatibilità con la camera bianca ISO 2 Adatto ad ambienti controllati con requisiti di pulizia rigorosi. Correzione dell'inclinazione della punta con il modulo combinato Z3TM+ Consente una regolazione precisa per un posizionamento ottimale. Funzione Z grossolana con il modulo combinato Z3TM+ Meccanismo di sollevamento elettrico aggiuntivo da 12 mm per consentire il carico e lo scarico dei wafer. Alimentazione del vuoto incorporata a livello del mandrino Facilita un funzionamento efficiente garantendo una corretta gestione del materiale. Tempi di spostamento e assestamento ridotti Risposta rapida e stabilizzazione per una maggiore produttività.