Sistema di posizionamento architettura impilata VULCANO2

2-3 assilineareper l'industria dei semiconduttori

VULCANO2 è un'architettura a portale ad assi sovrapposti basata su cuscinetti meccanici accoppiati a encoder ottici di fascia alta. L'uso dei rinomati motori ETEL con nucleo in ferro, insieme a principi di progettazione innovativi, permette di raggiungere un'elevata dinamica a livelli di prestazioni geometriche e di movimento molto migliori. Concentrandosi sull'agevolazione delle applicazioni dei semiconduttori, la piattaforma rimane adatta a tutti i diversi mercati e a tutte le esigenze che richiedono soluzioni per una dinamica più elevata; infatti anche la sua impronta migliore nella sua classe eccelle per massimizzare la sua proposta complessiva di valore del Costo di Proprietà. I clienti, mirando a raggiungere una maggiore produttività, cicli di lavoro più elevati o a servire carichi utili più pesanti senza perdita di ripetibilità o di precisione, possono adottare con fiducia un VULCANO2 standard o una soluzione personalizzata derivata. VULCANO2 rappresenta anche una soluzione perfetta per tutti i casi d'uso in cui la dinamica, i cicli di lavoro e i carichi utili non sono così rigorosi, anche se la precisione di posizionamento deve essere stabilita per tempi molto lunghi: fornire diverse ore di precisione di navigazione a livello U non è più un sogno ma una solida realtà da questa nuova offerta di ETEL. L'uso di questa piattaforma è adatto, ma non limitato a: - Applicazioni per il controllo di processo dei wafer come la metrologia di sovrapposizione, la dimensione critica e la metrologia a film sottile - Back-end: processi flip-chip realizzati su pannelli/substrati di grandi dimensioni Caratteristiche: - Ingombro compatto - Carico utile fino a 80 kg - Stabilità di posizione a livello nanometrico - Elevata dinamica - Eccellente ripetibilità bidirezionale e stabilità di posizione - Compatibilità con la camera bianca ISO 2