Sistema di misurazione per wafer SiPh

microscopio

L'Autonomous Silicon Photonics Measurement Assistant di FormFactor stabilisce lo standard industriale per il probe della fotonica del silicio a livello di wafer e die. Questa soluzione altamente flessibile offre una moltitudine di tecnologie di test, dalle fibre singole agli array e dall'accoppiamento verticale a quello sui bordi. Grazie al nuovo e rivoluzionario OptoVue per calibrazioni avanzate, agli algoritmi intelligenti di visione artificiale e all'esclusivo SiPh TopHat per ambienti bui, schermati e privi di gelo, il sistema consente di effettuare calibrazioni e ricalibrazioni autonome a mani libere a diverse temperature. Ciò consente di accelerare i tempi per ottenere misure più accurate e ridurre i costi dei test. L'uso di singole fibre ottiche e di array di fibre come sonde per accoppiare la luce all'interno e all'esterno di un wafer, sia per l'accoppiamento con la superficie che con i bordi, crea molte sfide che FormFactor gestisce grazie alla sua tecnologia Contact Intelligence. A differenza dei test elettrici, i test ottici utilizzano fibre e array di fibre che non entrano in contatto con i corrispondenti "pad", noti come accoppiatori a griglia o sfaccettature, rispettivamente sulla superficie e sul bordo del wafer. Le fibre devono invece essere articolate rispetto agli accoppiatori e alle sfaccettature per trovare la posizione di massimo trasferimento di potenza ottica. L'impostazione della posizione iniziale delle punte della fibra o dell'array rispetto ai reticoli e alle sfaccettature e la successiva ottimizzazione della loro posizione sono ottenute grazie a tecniche automatizzate esclusive sviluppate dagli ingegneri di FormFactor. Grazie all'elaborazione avanzata delle immagini e ad algoritmi appositamente sviluppati, è possibile impostare l'altezza Z, il divario tra fibra e sfaccettatura e una serie di calibrazioni automatiche della soluzione di posizionamento alla stazione della sonda.