MP410-3 Allineatore per alto vuoto fino a 10E-6 mbar
Personalizzabile:
- Ideale per misure di trasferimento nel vuoto fino a 10-6 mbar
- Progettato per campioni di grandi dimensioni con un'apertura di 235 mm
- Elevata ripetibilità fino a 1 µm con una capacità di carico di 5 kg
- Trasmissione della forza ideale grazie all'utilizzo della vite a ricircolo di sfere 1214 senza gioco
- Rapporto prezzo/prestazioni ottimizzato con parametri operativi precisi
Con questo allineatore si realizzano movimenti di traslazione secondari di 15 mm nel piano e una rotazione intorno alla verticale fino a ± 5 gradi. Il movimento R (Phi) risulta dalla combinazione XY.
Specifiche:
- Componente standard: LA85 (XYRz)
- Corsa: ± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z)
- Ripetibilità: ± 1,6 - ± 2,1 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz)
- Velocità di posizionamento: 30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz)
- Carico massimo: 250 N (XYRz)
- Motore: Motore a scansione, Kugelgewindetrieb
- Feedback: Anello aperto
Opzioni personalizzate:
- Adattamento al processo: apertura, supporto, alimentatore, sensore
- Configurazione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta)
- Progettazione individuale con rack, isolamento dalle vibrazioni, custodia
- Sviluppo di soluzioni individuali con progettazione in 3D per il compito di posizionamento
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