Sistema di posizionamento 3 assi 782476:001.26
orizzontalerotativoautomatico

sistema di posizionamento 3 assi
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Caratteristiche

Numero di assi
3 assi
Struttura
automatico, rotativo, orizzontale
Applicazioni
per ispezione Wafer e metrologia, per l'industria dei semiconduttori, per l'industria farmaceutica
Altre caratteristiche
compatto, con vite a sfere, di precisione, con motore passo-passo, sotto alto vuoto
Ripetibilità

0,8 µm, 1 µm

Carico

5 kg
(11,02 lb)

Corsa

5 mm, 15 mm
(0,2 in, 0,59 in)

Velocità

2 mm/s

Descrizione

MP410-3 Allineatore per alto vuoto fino a 10E-6 mbar Personalizzabile: - Ideale per misure di trasferimento nel vuoto fino a 10-6 mbar - Progettato per campioni di grandi dimensioni con un'apertura di 235 mm - Elevata ripetibilità fino a 1 µm con una capacità di carico di 5 kg - Trasmissione della forza ideale grazie all'utilizzo della vite a ricircolo di sfere 1214 senza gioco - Rapporto prezzo/prestazioni ottimizzato con parametri operativi precisi Con questo allineatore si realizzano movimenti di traslazione secondari di 15 mm nel piano e una rotazione intorno alla verticale fino a ± 5 gradi. Il movimento R (Phi) risulta dalla combinazione XY. Specifiche: - Componente standard: LA85 (XYRz) - Corsa: ± 15 mm (XY) / ± 5 mm (Z) - Ripetibilità: ± 1,6 - ± 2,1 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz) - Velocità di posizionamento: 30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz) - Carico massimo: 250 N (XYRz) - Motore: Motore a scansione, Kugelgewindetrieb - Feedback: Anello aperto Opzioni personalizzate: - Adattamento al processo: apertura, supporto, alimentatore, sensore - Configurazione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Progettazione individuale con rack, isolamento dalle vibrazioni, custodia - Sviluppo di soluzioni individuali con progettazione in 3D per il compito di posizionamento

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Fiere

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AMB 2024
AMB 2024

10-14 set 2024 Stuttgart (Germania) Hall C2 - Stand 30

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    W3-Fair Convention 2024
    W3-Fair Convention 2024

    25-26 set 2024 Jena (Germania)

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    * I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.