Sistema di posizionamento multiasse 782497:008.26

esapoderotativoper ispezione Wafer e metrologia

MP200-3 Sistema di posizionamento Z-Phi Delta in miniatura, treppiede In aggiunta all'allineatore MP200-5, che consente la regolazione in cinque gradi di libertà, questo allineatore è stato progettato con tre gradi di libertà. È costituito internamente da tre assi di precisione che agiscono verticalmente e sono collegati alla piastra di carico mobile per mezzo di giunti solidi. In questo modo, la piastra di carico può essere inclinata su due assi e regolata in altezza. Poiché l'allineamento dei pezzi è spesso sufficiente, la regolazione verticale può essere utilizzata per compensare pacchetti di lenti di altezze diverse, soprattutto nell'assemblaggio di ottiche. Inoltre, da questo manipolatore e da un tavolo luminoso a trasmissione incrociata o da un tavolo trasversale è possibile realizzare un manipolatore a 5 assi con un'ampia escursione in XY. Ad esempio, i sistemi KDT310, KT310 o KDT235 possono essere utilizzati come sistemi XY. Specifiche: - Componente standard: MT63-SM (Z, Rx, Ry) - Corsa: 4 mm (Z) / 3 mm (Rx, Ry) - Ripetibilità: ± 0,07 - ± 1 µm (Z) / ± 0,00005 - ± 0,00020 µm (Rx, Ry) - Velocità di posizionamento: 0,5 mm/s (Z) / 0,4 mm/s s (Rx, Ry) - Carico massimo: 20 N - Motore: Motore passo-passo (SM), cinghia filettata scorrevole - Feedback: Motore-Encoder - Luce trasmessa: 45 mm