Sistema di posizionamento XYZ 782327:001.26

triassialelineareper ispezione Wafer e metrologia

MP210-3 Sistema di posizionamento XYZ Personalizzabile: - Ideale per spazi di installazione limitati e temperature fluttuanti da 0 a 40°C - Campi di corsa fino a 25 mm in uno spazio minimo - Stabilità assoluta della posizione, anche quando il motore è spento - Risultati di misura coerenti grazie all'elevata ripetibilità Questo sistema XYZ consente di posizionare un portacampioni per misurare in modo estremamente stabile la luce incidente e trasmessa su entrambi i lati. Il caricamento e la messa a fuoco avvengono tramite un movimento verticale con una corsa di 25 mm. Specifiche: - Sistema standard: MT63 (XYZ) - Corsa: 25 mm - Ripetibilità: ± 0,8 - ± 3,8 µm (XYZ) - Velocità di posizionamento: 1,8 - 3,6 mm/s (XYZ) - Carico massimo: 10 N - Motore: Motore CC, - Vite di piombo - Feedback: Scala lineare - Lunghezza x larghezza x altezza: 206 x 259 x 137 mm Opzioni personalizzate: - Adattamento al processo: campionatore, supporto, alimentatore, sensore - Configurazione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Progettazione individuale con rack, isolamento dalle vibrazioni, custodia - Sviluppo di soluzioni individuali con progettazione 3D per il compito di posizionamento