Sistema di posizionamento multiasse 782300:056.26

2-3 assiautomaticoper l'industria dei semiconduttori

MP53-2-1 Sistema di posizionamento XY-Phi in miniatura Sistema Phi-XY con motore piezoelettrico Piccolo manipolatore per il movimento e la rotazione xy. La corsa lineare è di 10 mm e ± 5 gradi in rotazione. Risoluzione estremamente elevata nell'intervallo dei nm grazie agli azionamenti piezoelettrici. La rotazione è realizzata da uno stadio lineare che agisce su un cuscinetto rotante per mezzo di un giunto flessibile. Giunto fisso per l'allineamento delle parti Il sistema a tre assi è destinato all'allineamento di pezzi e campioni. Poiché per questi movimenti correttivi sono sufficienti piccoli percorsi di pochi millimetri o gradi, è possibile generare un movimento rotatorio con uno stadio lineare se questo trasmette il suo movimento a uno stadio rotante altrimenti passivo mediante un giunto a stato solido. Il vantaggio di questo giunto a stato solido è che trasferisce completamente la precisione dello stadio lineare allo stadio rotante. Se la deflessione rimane inferiore a 5 gradi, anche la rigidità di questo giunto rimane sufficiente per trasmettere movimenti nell'ordine dei nanometri in direzione di trazione e compressione. Specifiche: - Sistema standard: MT53-PM (XYRz) - Corsa: 10 mm - Ripetibilità: ± 0,4 - ± 0,7 µm (XY) / ± 0,001 - ± 0,002 µm (Rz) - Velocità di posizionamento: 5 - 10 mm/s (XY) / 5 - 20 mm/s (Rz) - Carico massimo: 5 N - Motore: Motore piezoelettrico, cuscinetti a rulli incrociati - Feedback: Scala lineare - Lunghezza x Larghezza x Altezza: 121 x 85 x 76 mm