Sistema di posizionamento 5 assi 782497:006.26

esapoderotativoper l'industria dei semiconduttori

MP200-5 Sistema di posizionamento XYZ Phi Delta in miniatura Personalizzabile: - altissima risoluzione fino a 0,007 µm - massima precisione di posizionamento con ± 1,5° in Rx e Ry - capacità di carico fino a 20 N - movimenti finissimi fino a 0,07 µm grazie a robusti azionamenti a filettatura scorrevole e auto-ritenuta - massima resistenza alle interferenze grazie alle solide giunzioni dei cuscinetti - ripetibilità assolutamente costante fino a ± 0,5 µm con tutti i gradi di libertà - molto compatto grazie all'elettronica di controllo a 5 assi integrata - una semplice alimentazione e un'interfaccia dati standard costituiscono il collegamento al sistema sovraordinato Lo stadio di centratura e livellamento motorizzato muove i suoi cinque gradi di libertà in modo estremamente coerente. Il sistema può essere spostato in tutte e tre le direzioni. Può anche essere inclinato di due angoli in planarità. Specifiche: - Componente standard: MT63-SM - Corsa: 4 mm (XYZ) / 3 mm (RxRy) - Ripetibilità: ± 0,07 - ± 1 µm (XYZ) / ± 0,00005 - ± 0,00020 µm (RxRy) - Velocità di posizionamento: 0,5 mm/s (XY) / 0,4 mm/s (RxRy) - Carico massimo: 20 N - Motore: Motore passo-passo (SM), cinghia filettata scorrevole - Feedback: Motore-Encoder - Luce trasmessa: 45 mm