Sistema di posizionamento 6 assi 786015:009.26

multiassialeesapodeorizzontale

sistema di posizionamento XYZ-Theta-Phi-Delta miniaturizzato a 6 assi (camera bianca ISO 5) Personalizzabile: - Ideale per l'ispezione automatizzata di wafer e ottiche fino a 300 mm / 12" - Elevata ripetibilità di ± 2,5 µm o ± 0,005° - Eccezionale precisione, rigidità e compattezza con dimensioni di 520 x 600 x 155 mm - Progettato per l'utilizzo in 3 turni di lavoro fino alla classe di camera bianca ISO 5 Il manipolatore a 6 assi comprende uno stadio XY sull'asse orizzontale e un treppiede per le corse verticali e due inclinazioni, che combina i punti di forza delle cinematiche cartesiane e parallele in un unico sistema. Specifiche: - Sistema standard: MT95 (XY) / 3x MT95 (Z, Rx, Ry) - Corsa: 30 mm (XY) / 20 mm (Z) / 4 mm (Rx, Ry) / n x 360 (Rz) - Ripetibilità: ± 1,5 - ± 3,5 µm (XYZ) / 0,0004 - 0,001 µm (Rx, Ry) / 0,05 - 0,1 µm (Rz) - Velocità di posizionamento: 1,1 - 2 mm/s (XYZ) / 0,03 -0,5 mm/s (Rx, Ry) / 100 - 200 mm/s (Rz) - Carico massimo: 65 N (X, Y, Rx, Ry) / 100 N (Z) / 20 N (Rz) - Motore: Motore CC, Kugelgewindetrieb 1112, Getriebe, Riemen (X,Y, Rx, Ry) / Schrittmotor, Riemen (Rz) - Feedback: Motore-Encoder - Lunghezza x larghezza x altezza: 520 x 600 x 155 mm Opzioni personalizzate: - Testato in base all'applicazione e pronto per l'uso immediato con il controllore di movimento plug-and-play, incluso il software di campionamento - Versione speciale per campioni fino a 450 mm - Diverse versioni per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Sistema multiasse modulare con teste di processo personalizzate/scambiabili - Vari supporti per campioni, integrazione nei flussi di lavoro - Sviluppo di soluzioni individuali con progettazione 3D per il compito di posizionamento