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- Steinmeyer Mechatronik GmbH
Piastra di posizionamento vuoto-compatibile LA170 seriesXYZa motoremultiasse
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Caratteristiche
- Orientazione
- XYZ
- Tipo
- a motore
- Numero di assi
- multiasse
- Altre caratteristiche
- di alta precisione, vuoto-compatibile, per microscopio, per carico elevato, con motore passo-passo integrato, con controllore, per manipolazione di wafer, a rulli incrociati
- Corsa
60 mm, 130 mm
(2,362 in, 5,118 in)- Velocità
5 mm/s
- Ripetibilità
Max.: 4 µm
Min.: 0,5 µm
Descrizione
- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar
- Liquido lubrificante fino a 10E-8 / secco fino a 10E-11 mbar
- Temperatura max. Temperatura di cottura: 120°C
- Disponibile come versione magnetica
Configurabile opzionalmente:
- Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione
- Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera
- Versione per camera bianca ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta)
- Opzionale con controllore FMC400/450
È un componente potente per i sistemi multiasse e per la scansione simultanea di più campioni. Consente un posizionamento estremamente fine con carichi elevati in ultra-alto vuoto, anche in direzione verticale.
Aree di applicazione
Configurazione di sistemi multiasse, automazione di processo, scansione 3D, scansione di campioni, posizionamento di sistemi di imaging, microscopia, analisi di campioni, ispezione di semiconduttori, garanzia di qualità nella biotecnologia e nella tecnologia dei semiconduttori, ricerca, linea di fascio, acceleratore, sincrotrone
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Vacuum linear stages, lifting stages
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.