Piastra di posizionamento per carico elevato HT240 series

verticalea motoredi alta precisione

- Vuoto: tutte le gamme HV / UHV / EUV fino a 10E-11 mbar - Liquido lubrificante fino a 10E-8 / secco fino a 10E-11 mbar - Temperatura max. Temperatura di cottura: 120°C - Disponibile come versione magnetica - Camera bianca di classe 4 secondo ISO 14644-1 (fino a classe 1 su richiesta) Configurabile opzionalmente: - Selezione del materiale e lubrificazione a vuoto adattata all'applicazione - Adattamento individuale alla situazione di installazione nella camera - Opzionale con il controllore FMC400/450 Stadio di sollevamento preciso per carichi elevati fino a 40 kg Lo stadio di sollevamento è adatto a movimenti verticali di alta precisione in condizioni estreme, come nel vuoto spinto e nel vuoto ultra spinto. Grazie al principio "lift-wedge", raggiunge i suoi parametri nonostante l'altezza complessiva di 90 mm. La combinazione di un motore passo-passo e di una precisa vite a ricircolo di sfere, con vite di trascinamento opzionale, consente di ottenere passi di dimensioni minime con carichi relativamente elevati. Aree di applicazione Posizionamento di precisione nell'industria e nella ricerca nel vuoto spinto e in presenza di radiazioni ultraviolette estreme, allineamento di wafer, ispezione di wafer, allineamento di telecamere, ricerca sui materiali, analisi dei materiali, ispezione, microscopia nel vuoto, linea di fascio, acceleratore, sincrotrone