Sistema di ispezione CMOS TR7900Q SII

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Introduzione
Il TR7900Q SII è basato su una piattaforma ad alta risoluzione 2,5 μm con tecnologia di imaging da 25 Mpix, pensato per l'industria dei semiconduttori e del packaging avanzato. Algoritmi AI e capacità di metrologia aumentano l'efficacia della soluzione Smart 3D AOI. Il 3D SEMI AOI si integra completamente con i moduli loader/unloader per semplificare la gestione di strip e magazine. Lo Stop-and-Go 3D AOI può ispezionare die bonding, wire/ball/ribbon/wedge bonding, SiP, underfill, SMD, bumps e giunzioni di saldatura. La soluzione Smart Factory AOI può ispezionare fili fino a 15 μm (0,6 mil).

Caratteristiche

• Rilevamento avanzato dei difetti nei package per wire bonding e die bonding
• AOI 3D ad alta risoluzione 2,5 μm con capacità di misura di grado metrologico
• Loader e unloader integrati per la gestione dei magazine
• Rilevamento fili tramite IA (opzionale)
• Ispezione fili Au, Al, Ag e Cu fino a 15 μm
• Ispezione dei giunti: ball bond, wedge bond, ribbon bond
• Illuminazione SWIR per rilevare crepe interne e scheggiature (opzionale)
• Compatibilità sala pulita: Classe 1000 (ISO Classe 6, ISO 14644-1)

Sistema ottico (elementi chiave)
Metodo di imaging: Stop-and-Go Imaging
Camera superiore: 25 Mpix
Risoluzione di imaging: 2,5 μm
Illuminazione: LED True Color multifase
Tecnologia 3D: Proiettori di frange digitali quadrupli
Campo massimo altezza 3D: 15 mm

Tavola di movimento & controllo (elementi chiave)
Controllo asse X: Vite a sfere + motore servo AC o motore lineare
Controllo asse Y: Doppia vite a sfere + motore servo AC o doppio motore lineare (opzionale)
Controllo asse Z: Vite a sfere + motore servo AC (riduttore opzionale)
Risoluzione asse X-Y: 0,1 μm

Gestione schede / magazine (elementi chiave)
Max. quantità magazine impilabili: 3 magazine (basato su larghezza magazine 125 mm)
Larghezza magazine: 50 - 175 mm
Lunghezza magazine: 120 - 320 mm
Altezza magazine: 80 - 150 mm
Larghezza strip*: 35 - 150 mm
Lunghezza strip: 100 - 285 mm
Spessore strip: 0,1 - 1,5 mm
*Quando la larghezza strip è tra 35–54 mm, è richiesto un design speciale
Peso max. strip: 0,5 kg
Portacarico / fissaggio strip: Nastro trasportatore a cinghia
Spazio superiore: 7 mm
Spazio inferiore: 10 mm
Spazio bordo: 3 mm

Funzioni di ispezione (esempi di difetti rilevabili e misure)
Die bonding: mancante, orientamento, rotazione, shift, inclinato, scheggiatura, crepa, graffio, materiale estraneo; spessore della linea di giunzione; epoxy sul die; copertura epoxy; altezza epoxy
Wire bonding: rotto, corto, sweep/sink, mancante, oscillazione, collasso, altezza del loop, filo afflosciato, gap tra fili; tracciatura filo; diametro ball bond; posizionamento del ball; larghezza stitch; copertura del stitch sul ball; ball-off pad; clubbed ball; spessore del ball; ball sollevato; low landing; bond su contaminazione; materiale estraneo
Area di bonding / pad: sporgenza di rame; crepa; scheggiatura; rame esposto; nichel esposto; materiale target; graffi o segni; ossidazione; materiale estraneo

Dimensioni & Peso
WxDxH (senza modulo auto carico/scarico): 990 x 1495 x 1700 mm
WxDxH (con modulo auto carico/scarico): 2065 x 1490 x 1700 mm
Nota: torretta segnalazione non inclusa; altezza torretta 515 mm
Peso: 823 kg (senza modulo auto); 989,5 kg (con modulo auto)

Note
Moduli opzionali: rilevamento fili con IA, illuminazione SWIR e altri moduli opzionali possono essere disponibili. Il sistema integra moduli loader/unloader per facilitare la gestione di strip e magazine.

Specifiche tecniche

• Modello: TR7900Q SII
• Metodo di imaging: Stop-and-Go Imaging
• Risoluzione camera superiore: 25 Mpix
• Risoluzione di imaging: 2,5 μm
• Illuminazione: LED True Color multifase (SWIR opzionale)
• Tecnologia 3D: Proiettori di frange digitali quadrupli
• Campo massimo altezza 3D: 15 mm
• Risoluzione asse X-Y: 0,1 μm
• Controllo asse X: Vite a sfere + motore servo AC o motore lineare
• Controllo asse Y: Doppia vite a sfere + motore servo AC o doppio motore lineare (opzionale)
• Controllo asse Z: Vite a sfere + motore servo AC (riduttore opzionale)
• Max. magazine impilati: 3 (basato su larghezza 125 mm)
• Larghezza magazine: 50 - 175 mm
• Lunghezza magazine: 120 - 320 mm
• Altezza magazine: 80 - 150 mm
• Larghezza strip: 35 - 150 mm (design speciale per 35–54 mm)
• Lunghezza strip: 100 - 285 mm
• Spessore strip: 0,1 - 1,5 mm
• Peso max. strip: 0,5 kg
• Portacarico / fissaggio: Nastro trasportatore a cinghia
• Spazi di sgancio: Superiore 7 mm; Inferiore 10 mm; Bordo 3 mm
• WxDxH (senza loader): 990 x 1495 x 1700 mm
• WxDxH (con loader): 2065 x 1490 x 1700 mm
• Peso: 823 kg (senza loader); 989,5 kg (con loader)