Spettrometro a fluorescenza a raggi X in dispersione di energia JED-2300T

per l'analisiSDD

AnalysisStation JED-2300T è un sistema di integrazione di TEM/EDS basato sul concetto di "Immagine e Analisi". La gestione dei dati viene effettuata raccogliendo automaticamente i parametri come l'ingrandimento e la tensione di accelerazione insieme ai dati di analisi. Sono disponibili tre tipi di Silicon Drift Detector (SDD) EDS, con un'area di rilevamento rispettivamente di 30 mm2, 60 mm2 e 100 mm2. Più grande è l'area di rilevamento, maggiore è la sensibilità di rilevamento. Incorporando il rivelatore Dry SD100GV (area di rilevamento 100 mm2) al JEM-ARM200F (HRP), si ottiene contemporaneamente un'ampia area di ricezione della luce e un'alta risoluzione, consentendo una chiara distinzione di elementi luminosi come "B, C, N, O". - Mappatura elementare ad alta velocità Il rivelatore a secco SD100GV ad alta sensibilità rileva una particella di catalizzatore Au in un solo minuto di tempo di misura. - Mappatura a risoluzione atomica Le colonne atomiche di Sr e Ti sono chiaramente separate. - Riproduzione I dati di mappatura elementare acquisiti dall'EDS JEOL conservano lo spettro in ogni pixel per ogni fotogramma, insieme alle immagini del fascio elettronico. La funzione "play back" consente analisi multilaterali, compresa l'osservazione della variazione dello spettro in un periodo di tempo. Un fenomeno che si verifica nel campione, che era impossibile da rintracciare, può ora essere osservato riproducendo i dati dell'analisi. È anche possibile tagliare i fotogrammi selezionati. (È stato richiesto un brevetto) Applicazione JED-2300T - Analisi strutturale di dispositivi a semiconduttore mediante Tomografia STEM/EDS