Si tratta di uno spettrometro elettronico Auger ad alta precisione con un analizzatore emisferico per fornire un'analisi ad alto rendimento dello stato di legame chimico in aree da nano a micro, e un cannone elettronico a emissione di campo utilizzato anche per l'EPMA, in quanto in grado di erogare una corrente elettrica stabile e di grandi dimensioni Lo stadio del campione eucentrico ad alta precisione consente di eseguire analisi precedentemente impossibili sugli isolanti. Questo, in combinazione con la pistola ionica di tipo flottante, offre la versatilità di trattare qualsiasi campione, come metalli e materiali isolanti, per ottenere informazioni sulla composizione e informazioni chimiche.
Caratteristiche
Analizzatore ad alta sensibilità・ad alta risoluzione
L'impiego di analizzatori con risoluzione energetica variabile ha reso possibile l'analisi dello stato di legame chimico in modalità ad alta risoluzione e la mappatura ad alta velocità in modalità ad alta sensibilità.
Cannone elettronico a emissione di campo Schottky
Un cannone elettronico che consente di ottenere sia l'osservazione di immagini con una risoluzione spaziale di 3 nm, sia l'analisi ad alta velocità dello stato di legame chimico, grazie a una corrente elettrica elevata, fino a 200 nA. Ciò è possibile incorporando la tecnologia di ottica elettronica sviluppata da JEOL nel corso degli anni con i cannoni a emissione di campo Schottky utilizzati nei SEM e negli EMPA.
Stadio del campione eucentrico
L'adozione di uno stadio eucentrico, una necessità per un dispositivo di analisi con sistemi ottici multipli, fornisce una riproducibilità del centro di altezza estremamente accurata. L'inclinazione liberamente selezionabile fino a 90° rende possibile la difficile analisi degli isolanti.
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