Generatore plasma programmabile TruPlasma MW Series 1000 /3000 / 5000

alta frequenzaradiofrequenzacontrollabile tramite PC

Panoramica
Generatore di plasma a microonde a stato solido, progettato per ottenere elevatissime densità di plasma e soddisfare requisiti di processo industriali esigenti. La serie TruPlasma MW si basa su tecnologia solid‑state che offre precisione di frequenza superiore rispetto ai sistemi a magnetron. La piattaforma modulare consente una scalabilità precisa della potenza mantenendo alimentazione stabile e qualità di processo costante.

Vantaggi principali

• Tecnologia microonde a stato solido con elevata precisione di frequenza
• Concetto di piattaforma modulare per scalabilità precisa della potenza
• Smart auto frequency tuning per adattamento automatico della frequenza e alta riproducibilità
• Fasi sincronizzate: possibilità di funzionamento in fase e a impulsi di più generatori in sistemi multi‑antenna per migliorare l'omogeneità del plasma
• Design robusto che garantisce funzionamento affidabile anche in caso di disadattamento
• Modulazione digitale della frequenza ad alta precisione per controllo processo riproducibile
• Comunicazione in tempo reale via EtherCAT per controllo in millisecondi e distribuzione precisa del plasma

Applicazioni

• Produzione di celle fotovoltaiche: sputtering, PECVD e altri processi di deposizione/ablazione
• Produzione di semiconduttori: incisione a secco e processi plasma avanzati
• Rivestimento di display e pannelli: PECVD, ALD, RIE e processi correlati

Vantaggi per i processi

• Massime densità di plasma per applicazioni ad alta richiesta
• Dosaggio energetico preciso e regolazione fine della potenza per elevata ripetibilità wafer‑to‑wafer
• Alimentazione stabile che preserva la qualità del processo in condizioni variabili
• Miglioramento dell'omogeneità del plasma tramite controllo della coerenza di fase tra generatori

Caratteristiche tecniche / specificazioni

• Famiglia di prodotti: TruPlasma MW Serie 1000 / 3000 / 5000
• Esempio di modello in questa pagina: TruPlasma MW 3002
• Tecnologia: generatore di plasma a microonde a stato solido
• Controllo frequenza: modulazione digitale di frequenza ad alta precisione
• Auto frequency tuning: adattamento automatico per ottimizzare i risultati di processo
• Operatività multi‑generatore: sincronizzazione di fase per sistemi multi‑antenna
• Interfaccia: EtherCAT digitale per comunicazione in tempo reale
• Design: piattaforma modulare, scalabile e affidabile
• Settori target: semiconduttori, fotovoltaico, rivestimento display