Generatore plasma industriale TruPlasma RF Air Sériés 1000

per trattamento di superficiecontrollabile tramite PCprogrammabile

Panoramica
Il generatore RF raffreddato ad aria TruPlasma RF 1001 Air eroga fino a 1000 W di potenza RF dosata con precisione e riproducibile, con risoluzione di 0,1 W (step da 100 mW). Progettato per semiconduttori, celle solari e display, integra la tecnologia brevettata TRUMPF Hüttinger e la CombineLine per processi plasma stabili.

Funzioni principali

• Smart Auto Frequency Tuning (AFT): accordo di frequenza rapido e ottimale tra generatore e matchbox.
• Arc management ad alta precisione: rilevamento precoce degli archi e protezione dei processi sensibili.
• Multi‑Level Pulsing: forme d'impulso multi‑livello configurabili per controllo avanzato del processo.
• Modularità Plug & Play: modulo inseribile ½‑19" per sostituzione e retrofit semplificati.
• Uscita reale 50 Ω (CombineLine): potenza di processo uniforme e minore sensibilità alle variazioni di carico.
• Famiglia di generatori uniforme: stessa tecnologia su diverse classi di potenza per integrazione facilitata.
• Indipendenza dalla lunghezza del cavo RF: nessuna regolazione della lunghezza del cavo dopo modifiche di sistema.

Applicazioni

• Reactive‑ion etching (RIE)
• Atomic layer deposition (ALD)
• Plasma‑enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
• RF sputtering
• Produzione di semiconduttori, MEMS, display a schermo piatto e celle solari

Vantaggi per il cliente e funzioni di sistema

• Alta ripetibilità: dosaggio energetico in step da 100 mW per consistenza wafer‑to‑wafer.
• Design compatto e salvaspazio: modulo inseribile ½‑19" adatto a nuovi impianti e retrofit.
• Ampia gamma di interfacce per integrazione: I/O analogico configurabile, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT.
• Supporto TRUMPF SystemPort: controllo in anello chiuso, misure RF in tempo reale ingresso/uscita matchbox, protezione e monitoraggio del processo.
• Funzioni digitali di processo: AFT 2.0, arc management, Multi‑Level Pulsing per adattamento fine ai requisiti di processo.

Specifiche tecniche

• Classe di potenza: fino a 1000 W (TruPlasma RF 1001 Air)
• Risoluzione potenza: 0,1 W (step da 100 mW)
• Raffreddamento: raffreddato ad aria
• Impedenza di uscita: 50 Ω reale (CombineLine)
• Impulsazione: multi‑level, forme d'impulso liberamente selezionabili
• Auto Frequency Tuning: Smart AFT per accordo rapido generatore–matchbox
• Formato: modulo inseribile compatto ½‑19"
• Interfacce: I/O analogico configurabile, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT
• Controllo di sistema: TRUMPF SystemPort per controllo in anello chiuso e misurazioni in tempo reale