Generatore plasma programmabile TruPlasma DC Series 3000 (G2)

industrialecontrollabile tramite PCper trattamento di superficie

Panoramica
I TruPlasma DC Serie 3000 (G2) sono generatori DC compatti e raffreddati ad acqua, adatti ai processi di sputtering in corrente continua e utilizzabili come sostituti delle alimentazioni pulsate. La gestione avanzata dell'arco garantisce qualità di strato elevata e maggiore resa produttiva. Il design molto compatto (unità inseribile da 19") facilita l'integrazione in impianti esistenti.

Caratteristiche principali

• Energia residua dell'arco molto bassa: < 0,3 mJ/kW per ottima qualità degli strati e alti tassi di deposizione.
• Elevata densità di potenza: unità inseribile 19" molto compatta per integrazione semplice anche ad alte potenze.
• Ampia gamma di potenze: potenze di uscita da 20 kW a 300 kW.
• Raffreddamento completamente ad acqua: consente lunghi tempi di funzionamento e minore manutenzione.
• Integrazione semplice: tensione di rete variabile (400 V–480 V) e interfacce dati (EtherCAT, EtherNET/IP).

Applicazioni

• Rivestimenti duri: sputtering magnetron DC per strati funzionali che migliorano durezza superficiale, attrito e stabilità termica/chimica.
• Metallizzazione: deposizione PVD di sottilissimi strati metallici omogenei e privi di difetti.
• Produzione di celle fotovoltaiche: adatto per rivestimenti TCO e altri strati conduttivi grazie alla bassa energia residua dell'arco.
• Vetro architettonico: rivestimenti su grandi superfici con elevati requisiti di processo.

Vantaggi per il cliente

• Alternativa economica ai generatori pulsati, con maggiore resa produttiva grazie alla gestione avanzata dell'arco.
• Soluzione compatta per elevate potenze: ingombro ridotto con elevata qualità di deposizione anche oltre 60 kW.
• Il raffreddamento ad acqua prolunga i tempi di funzionamento, riduce la manutenzione e evita contaminazioni da polvere rispetto al raffreddamento ad aria.

Opzioni

• Controllo valvola acqua: regola la portata del refrigerante per evitare condensa e proteggere da surriscaldamento.
• Interfacce: EtherCAT ed EtherNET/IP per integrazione semplice nei sistemi esistenti.
• Funzionamento parallelo e sincronizzazione: più unità TruPlasma DC Serie 3000 (G2) possono lavorare sincronizzate; fino a 5 TruPlasma DC 3030 possono essere collegate in parallelo per funzionare come TruPlasma DC 3150.

Software

• PVD Power: software multilingue per operazione, configurazione e diagnosi: visualizzazione dei valori di processo, avvisi/allarmi, impostazione setpoint, registrazione e visualizzazione ad alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

Download

• Brochure prodotto disponibile (TruPlasma DC Serie 3000 (G2) brochure).

Specifiche tecniche

• Energia residua dell'arco: < 0,3 mJ/kW
• Gamma di potenza in uscita: 20 kW – 300 kW
• Raffreddamento: completamente ad acqua
• Formato: unità inseribile 19" (compatta)
• Tensione di rete: variabile 400 V–480 V
• Interfacce dati: EtherCAT, EtherNET/IP (opzioni)
• Parallizzazione: fino a 5 x TruPlasma DC 3030 in parallelo (funziona come TruPlasma DC 3150)
• Processi consigliati: sputtering DC, PVD, metallizzazione, rivestimenti funzionali
• Software: PVD Power