Generatore plasma controllabile tramite PC TruPlasma RF Sériés 1000/3000 (G2/13)

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Overview Alimentazione plasma stabile e riproducibile per produzioni ad alta produttività. I generatori TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) integrano elettronica di potenza moderna, controllo preciso dell'uscita e matching CombineLine per una reale impedenza di uscita di 50 Ω.

Vantaggi principali

• Alta precisione e riproducibilità grazie alla tecnologia CombineLine con 50 Ω reali.
• Indipendenza dalla lunghezza del cavo HF: non è necessario adattare la lunghezza dei cavi.
• Protezione contro potenza riflessa in caso di disadattamento per un funzionamento sicuro.
• Elevata efficienza energetica—fino all'80%, con riduzione dei costi energetici.
• Raffreddamento senza ventola per evitare riscaldamento e contaminazione dell'aria ambiente, idoneo per camere bianche.

Applicazioni I generatori TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) sono progettati per processi plasma quali RIE, ALD, PECVD e sputtering RF. Settori tipici: produzione di semiconduttori, MEMS, rivestimento di pannelli a schermo piatto e celle fotovoltaiche.

Benefici per il cliente e integrazione di sistema

• Matching intelligente in tempo reale per rapido adattamento dell'impedenza a 50 Ω e stabilizzazione del plasma.
• Alimentatori integrati ultra-wide range (200–480 VAC) che semplificano l'installazione su diverse tensioni di rete.
• Molteplici interfacce per integrazione: analogica configurabile, RS-232/485, DeviceNet, Profibus, EtherCAT.
• Formato compatto ad alta densità disponibile come modulo inseribile 19" o ½-19" per integrazione salvaspazio.
• TRUMPF SystemPort per controllo in anello chiuso misurando i segnali RF all'ingresso/uscita del matchbox, migliorando monitoraggio e rilevamento precoce di archi.

Opzioni

• Auto Frequency Tuning: sintonizzazione rapida e simultanea della frequenza, brevettata, per ottimizzare l'interazione generatore–matchbox.
• Arc management RF: rilevamento mirato degli archi per proteggere prodotto e impianto e massimizzare la produttività.

Componenti di sistema e accessori

• TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) matchbox per trasferimento ottimale di potenza; funzionamento autonomo o tramite SystemPort.
• Oscillatori master: sintetizzatori digitali di frequenza e fase per stabilizzare processi sincronizzati (es. 13,56 MHz).
• Switch RF: consentono l'uso di un generatore su più stazioni di processo (2/3/4 uscite; diverse classi di potenza).
• Cavi coassiali: cavi TRUMPF Hüttinger progettati per sistemi a 50 Ω.

Note Gamma di prodotti, specifiche e disponibilità accessori possono variare in base al paese e sono soggette a modifiche.

Caratteristiche / specificazioni tecniche

• Famiglia prodotto: TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13)
• Processi applicabili: RIE, ALD, PECVD, sputtering RF
• Settori tipici: semiconduttori, solare, rivestimento di schermi piatti, MEMS
• Tecnologia: CombineLine per impedenza di uscita reale 50 Ω
• Efficienza: fino all'80%
• Raffreddamento: senza ventola (compatibile camera bianca)
• Alimentazione: 200–480 VAC (ultra-wide range)
• Formato: modulo inseribile 19" o ½-19"
• Interfacce: analogica configurabile, RS-232, RS-485, DeviceNet, Profibus, EtherCAT
• Opzioni: Auto Frequency Tuning, Arc management RF
• Funzionalità di sistema: TRUMPF SystemPort per controllo in anello chiuso e rilevamento precoce di archi
• Supporto oscillatore master: 13,56 MHz e altre combinazioni di frequenza