Alimentatore elettrico da terra TruPlasma MF Series 7000 (G2)

AC/ACper applicazioni industrialiad alta potenza

Panoramica
La TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantisce il controllo completo dei processi di sputtering MF grazie a gestione degli archi e comportamento di accensione ottimizzati. Progettata come alimentatore per rivestimenti ad ampia superficie e processi reattivi impegnativi come il dual magnetron sputtering. Rendimento di picco superiore al 90% e rendimento operativo oltre l'80%, con gestione efficiente dell'acqua di raffreddamento per ridurre i costi operativi.

Vantaggi principali

• Massima qualità del rivestimento e produttività: risultati eccellenti e alte velocità di deposizione anche nei processi reattivi più esigenti.
• Massima efficienza: rendimento di picco > 90%; rendimento operativo > 80%.
• Alimentazione stabile in tutte le condizioni ambientali: affidabile anche con alte temperature dell'acqua di raffreddamento e basse pressioni differenziali.
• Utilizzabile a livello mondiale: ampia gamma di tensione di rete senza necessità di adeguamenti tecnici.

Applicazioni

• Large Area Coating (es. vetri architettonici) dove sono richieste stabilità e omogeneità.
• Rivestimento di display e pannelli touch tramite dual magnetron per strati AlxOx ultra‑sottili.
• Produzione di celle fotovoltaiche e deposito di strati TCO su vetro solare mediante sputtering MF.

Vantaggi per il cliente / Controllo del processo

• Controllo preciso del processo con poche impostazioni per bilanciare sensibilità agli archi e produttività.
• Gestione avanzata degli archi: elevata velocità di reazione, energia residua ridotta e prevenzione dei danni al target; supporta la modalità di transizione controllata in tensione.
• Varie interfacce e il software TruControl Power consentono configurazione e diagnostica semplici e rapide.

Opzioni

• Deumidificazione attiva dell'armadio elettrico per ambienti ad alta umidità (richiede controllo dell'acqua di raffreddamento).
• Sportello dell'armadio con ampia apertura (opzione 180°; standard 130°).
• Interfacce: Profinet, Profibus, EtherCAT, ingressi/uscite analogiche e digitali per integrazione.
• Gestione archi ultra‑rapida (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW in opzione; standard ≤ 10 mJ/kW). Richiesta categoria di sicurezza 3 per UltraFastTreatment.
• Accensione ausiliaria per ridurre la formazione di archi e lo stress termico; tensione di innesco e tempo di rampa regolabili.
• Opzione intervallo di frequenza esteso: 20–70 kHz per generatori MF fino a 100 kW (standard 20–50 kHz).

Software
TruControl Power: software multilingue e intuitivo per esercizio, configurazione e diagnostica del generatore.

Componenti di sistema e accessori

• Cavi di potenza MF TRUMPF Hüttinger ottimizzati forniti per garantire le prestazioni del sistema.
• Selezione di componenti di sistema idonei per adattare la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) all'ambiente d'impianto.

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Brochure prodotto disponibile in formato PDF.

Specifiche tecniche

• Denominazione: TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
• Marca: TRUMPF
• Rendimento di picco: > 90%
• Rendimento operativo tipico: > 80%
• Gamma di potenza: generatori MF disponibili fino a 100 kW (varianti e opzioni)
• Intervallo di frequenza standard: 20–50 kHz; intervallo esteso opzionale: 20–70 kHz (fino a 100 kW)
• UltraFastTreatment (opzionale): ≤ 1 mJ/kW; trattamento ARC standard: ≤ 10 mJ/kW
• Requisito di sicurezza per UltraFastTreatment: categoria di sicurezza 3
• Accensione ausiliaria: tensione d'innesco e tempo di rampa regolabili
• Porta armadio: apertura standard 130°; opzione 180°
• Raffreddamento: gestione efficiente dell'acqua di raffreddamento; funzionamento affidabile ad alte temperature dell'acqua e basse differenze di pressione
• Interfacce: Profinet, Profibus, EtherCAT, I/O analogici e digitali
• Software: TruControl Power (multilingue) per esercizio, configurazione e diagnostica
• Applicazioni tipiche: dual magnetron sputtering, Large Area Coating, processi reattivi, rivestimenti per display e fotovoltaico